工程情况
某大形半导体材料制造厂品牌靠近长四角地段,基本产量方式晶圆和集成电路芯片。在产量方式工作中,晶圆切开和打磨抛光步骤会产生很大精磨液污水,每日摆放量下跌约50吨。会因为污海里包含有高盐浓度自动隐藏物、复合阴阳离子及生产使用剂,会直接摆放会对坏境从而造成明显水污染,品牌现需建筑行业整理配制。
废渣成份及来源于
碾磨液生活污水常见因素于晶圆生产加工中的催化机器打蜡 (CMP)工艺程序,常见环境工业废气涉及:
悬屏颗料物
:二钝化硅、钝化铝等打磨颗粒物,粒度分布在0.1-1μm,浓硫酸浓度高达hg2000mg/L。
五金铁离子
:铜、铁、锌等,来于抛光剂垫受到磨损及晶圆表明轻金属层,铜铁离子盐浓度约50mg/L。
生产移除剂
:分为面上特异性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸性性物质
:pH值上下波动大,往往在2-11区间内。
办理技艺方案
造成生活污水基本特性,主要包括“预操作+什么是生化+淬硬层操作”组合名字工艺技术:
调准池
:匀衡地表水需水量,生成强酸强碱可以调节pH至比较适中。
混凝土沉淀物
:加药系统PAC(聚合物氯化铝)和PAM(PP酰胺),彻底清除浮悬物和悬浊液,沉降后SS彻底清除率>90%。
催化剂的作用氧化物
:通过Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)可降解生物碳填加剂,COD剔除率达60%。
生物制品净化处理
:MBR膜动物现象器更加一个脚印生物降解余量有机肥料物,COD高于100mg/L下面。
化合物交流
:专门用光敏树脂过滤铜铝离子,冒水铜占比<0.5mg/L。
砂滤+活性氧炭过虑
:提高认识有水出清澈见底,起到《工业废水总体尾气排放原则原则》(GB8978-1996)一级通过成绩原则。
结果英文感觉
程序操作相对稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。
工业电镀废水处理率达40%,累计符合标准的尾气排放,年变少电镀废水的尾气排放1.7万吨。
解决制造费约15元/吨,远低过的行业大概。