该晶圆制造加工厂处于苏北中南部,注意制造8英尺半导体器件晶圆,平均生孩子废水尾气排放量原则量约800吨。由制造具体步骤中食用许多盐酸实行晶圆蚀刻,造成 生孩子废底层的水中氟化物溶液浓度到达200-300mg/L,远超发展中国家尾气排放量原则原则(10mg/L左右)。
废液组成及主要来源
废渣最主要的产于以下三个各个环节:
晶圆蚀刻多种工序
:含高含量氟化物(HF)、氯化铵及一点天价属
物理机戒cnc精密机械加工(CMP)废气
:含nm级硅颗粒状、生产络合剂
机冲洗废污水
:含异丙醇、氟化物等苯的同系物物
外理步骤流程步骤流程
选择"电学析出+混泥土析出+纵深过滤装置"三级分销操作操作系统:
特级补救
:污泥脱水氯化钙和氢防氧化钙,组成氟化钙凝固,氟化物去掉率达85%
两级外理
:增多PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),剔除电解质溶液态污染破坏物
三级职业资格证书解决
:采用多媒介过滤清洁器和生物炭吸,满水后氟化物盐浓度安稳在8mg/L左右
主要装置主要包括:pH系统的自动转换系统的、斜管沉淀物中池、板框压滤机厂家(污水脱水过滤)。
从而使用效果
項目正常运行四年监测器大数据体现 :
氟化物平衡密度:7.2mg/L(降到国家的规范标准)
COD消除率:92%
废水含水量率:≤65%
年收废氟化钙副产物的约150吨,控制物资化采用